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Movimiento y calefacción en alto vacío y UHV

Linear motion and alignment

Movimiento lineal y alineación

Collection of Linear Shift Mechanisms from UHV Design
Linear Shift Mechanisms (linear translators) provide linear motion along the port axis (Z). Typical applications include the positioning of beamline filters, adjustment of sputter sources and deposition stages through to production style applications. Bakeable to 250º C, the range is supplied on CF flanges and provides true UHV performance.
The bellows sealed Linear Shift Mechanisms provide smooth, precise motion via a kinematically designed external leadscrew drivenmechanism, complete with anti-rotation and anti-deflection systems. This design ensures smooth and precise motion along the Z axis. The range has a high load capability ensured through its rigid construction.
The bellows are manufactured from 316L stainless steel as standard and offer a minimum design life of 10,000 cycles. Customised units are available offering a design life of up to 1 million cycles.
Manipuladores lineales (LSM) proporcionan un movimiento lineal a lo largo del eje del puerto Z. Las aplicaciones típicas incluyen el posicionamiento de filtros en líneas de luz, ajuste de las fuentes de deposición por pulverización catódica y plataformas de deposición hasta las aplicaciones de producción. Horneado hasta 250º C, la gama se suministra con bridas CF y proporciona un rendimiento verdaderamente compatible con UHV.
LSM con fuelle proporciona un movimiento suave y preciso a través de un diseño de tornillo de avance externo utilizando principios cinemáticos. Completa con unos sistemas de anti-rotación y anti-deflexión. Este diseño asegura un movimiento suave y preciso en el eje Z. La gama tiene una alta capacidad de carga por su construcción rígida.
Los fuelles están hechos de acero inoxidable 316L como estándar y ofrece un diseño de duración minima de 10.000 ciclos. Ofrecemos unidades adaptadas con un diseño de vida de hasta 1 millon de ciclos.
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