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Deposición en vacío

Ion sources

Fuentes de iones

Ion source from Mantis Deposition
The RFMax ion sources utilize Mantis Deposition's extensive knowledge of plasma technology. By generating an inductively coupled plasma and applying high voltage to source's exit grids, the RFMax deliver a wide range of ion current and energies. The sources are capable of delivering current of up to 6 mA.cm-2 and beam energies ranging from 0.1 eV to more than 1 keV.
Visit the Mantis Deposition site for more detailed information.
Las fuentes iónicas RFMax aprovechan el conocimiento extenso que posee Mantis Deposition en cuanto a la tecnología plasma. Generando un ICP y aplicando un alto voltaje a las gradas de salida de la fuente, el RFMax aporta una gran variedad de corrientes de iones y energías. Las fuentes son capaces de entregar corrientes de hasta 6 mA.cm-2 y emitir energías desde 0,1 eV a más de 1 keV.
Visita el sitio web de Mantis Deposition para obtener información más detallada.
IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
The RFMax ion sources utilize Mantis Deposition's extensive knowledge of plasma technology. By generating an inductively coupled plasma and applying high voltage to source's exit grids, the RFMax deliver a wide range of ion current and energies. The sources are capable of delivering current of up to 6 mA.cm-2 and beam energies ranging from 0.1 eV to more than 1 keV.
Las fuentes iónicas RFMax aprovechan el conocimiento extenso que posee Mantis Deposition en cuanto a la tecnología plasma. Generando un ICP y aplicando un alto voltaje a las gradas de salida de la fuente, el RFMax aporta una gran variedad de corrientes de iones y energías. Las fuentes son capaces de entregar corrientes de hasta 6 mA.cm-2 y emitir energías desde 0,1 eV a más de 1 keV.
Applications
- Pre-deposition
- Ion milling
Aplicaciones
- Pre-deposición
- Ion milling
Fuentes de iones
Features
Características
Features
Características
The ion sources are designed with all metal vacuum seals and are fully bakeable to 250° C and are UHV compatible. The plasma discharge tube is constructed from a high purity ceramic, which is different depending on the operating gas of the source. The robust induction coil is internally cooled. Additionally, the gas inlet of the source is water cooled to eliminate impurities from being outgassed from the steel of the gas inlet. The tip of the sources is also water cooled and coupled to the exterior shields. This keeps the source cool during operation and keeps your UHV environment pristine.
RFMax30
The RFMax30 is a compact, wide range ion source that fits onto a standard 63 CF flange and can be integrated to most deposition systems. The source is engineered to be field serviceable for a low cost of operation.
RFMax60
The RFMax60 is a high performance, wide range ion source. The source is integrated to a standard 100 CF flange and has a beam diameter of 60 mm leaving the source. The large beam diameter makes RFMax60 ideal for large sample applications. The source is mechanically robust and is engineered to be field serviceable for maximum operation time.
Las fuentes de iones están diseñados con sellos de vacío totalmente metálicos, que aguantan hasta 250º C y compatibles con UHV. El tubo de descarga de plasma está compuesto de cerámica de alta pureza, que difiere dependiendo del gas operativo de la fuente. Tiene un espiral inductor robusto que es enfriado internamente. Además, la entrada de gas proveniente de la fuente, es enfriada por agua para eliminar impurezas que sufrirían desgasificación desde el acero de la entrada del gas. La punta de la fuente es también enfriada por agua y acoplada a los escudos exteriores. Esto asegura que la fuente permanezca fría durante la operación y mantiene el ambiente UHV impecable.
RFMax30
El RFMax30 es una fuente iónica compacta y de amplio rango que cabe en una brida estándar de 63 CF y puede ser integrado en la mayoría de sistemas de deposición. La fuente está construida para ser reparado en el campo en cuestión por un coste económico.
RFMax60
El RFMax60 es una fuente iónica compacta y de alto rendimiento. La fuente está integrada en una brida estándar de 100 CF y tiene un diámetro de haz 60 mm saliendo de la fuente. El gran diámetro de haz hace que RFMax60 sea ideal para aplicaciones de muestras grandes. La fuente es mecánicamente robusto y está construido para ser reparado en el campo en cuestión para un tiempo máximo operativo.
Options
Opciones
Options
Opciones
Automatic matching network
We provide automatic matching unit that ensures a perfectly tuned source at a push of a button. Each matching unit is individually engineered and tested to meet the individual source.
Plasma emission monitoring
Optical plasma emission monitoring can provide an insight into which species are being generated in the plasma. The optical emission monitoring can be achieved by attaching a spectrometer to the ion source and monitoring plasma emission lines through provided software package.
Manual or motor-driven shutters
The RFMax sources can be outfitted with an integral manual or motor-driven shutter. The shutters feature a rotary feedthrough which is magnetically coupled to ensure longevity.
Discharge tubes
The discharge zone is manufactured from high-quality materials ensuring minimal contamination of the beam. The discharge tube can be made out of PBN, quartz or alumina depending on your application.
Red automática de adaptación
Ofrecemos una red automática de adaptación que asegura una fuente perfectamente sintonizado sin apenas esfuerzo. Cada unidad de adaptación está construido individualmente y probado para adaptarse a la fuente individual.
Monitorización de emisiones de plasma
Monitorización óptica de emisiones plasma puede aportar una visión de qué especies están siendo generados en el plasma. Esta monitorización puede conseguirse mediante la incorporación de un espectrómetro a la fuente iónica y la posterior monitorización de líneas de emisión por software.
Obturadores manuales o por motor
Fuentes de RFMax pueden ser equipados con obturadores integrales manuales o de motor. Los obturadores tienen un pasamuros rotatorio que está acoplado magnéticamente para asegurar una vida media larga.
Tubos de descarga
La zona de descarga está hecho de materiales de alta calidad, asegurando una contaminación mínima del haz. El tubo de descarga puede estar compuesto por PBN, cuarzo o aluminio, dependiendo de la aplicación.
Specifications
Especificaciones
Specifications
Especificaciones
Model RFMax30 RFMax60
RF Power 30 - 600 W 30 - 600 W
Beam Energy 0.1 - 1 keV 0.1 - 1 keV
Current Density Up to 5 mA.cm-2 Up to 6 mA.cm-2
In-vacuum diameter 57 mm 96 mm
Mounting Flange 63 CF 100 CF
Standard In-vacuum Length 290 mm 290 mm
Gas Compatibility O2, N2, H2 Ar... O2, N2, H2 Ar...
Minimum Cooling Water (0.5 l/min) Water (0.5 l/min)
Gas Flow 8 - 10 sccm 10 - 15 sccm
Modelo RFMax30 RFMax60
Potencia RF 30 - 600 W 30 - 600 W
Energía del haz 0,1 - 1 keV 0,1 - 1 keV
Densidad de corriente Hasta 5mA.cm-2 Hasta 6mA.cm-2
Diámetro en vacío 57 mm 96 mm
Brida de montaje 63 CF 100 CF
Longitud estándar en vacío 290 mm 290 mm
Compatibilidad de gas O2, N2, H2 Ar... O2, N2, H2 Ar...
Enfriamiento mínimo Agua (0,5 l/min) Agua (0,5 l/min)
Flujo de gas 8 - 10 sccm 10 - 15 sccm
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Viewport shuttersObturadores para mirillas
Source shuttersObturadores rotatorias
ShuttersObturadores
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Rotary motionMovimiento rotatorio
Movement and heatingMovimiento y calefacción
125μm UHV fibre feedthroughsPasamuros UHV de fibra-óptica con fibra de 125 µm
UHV feedthrough with attached in-vacuum fibrePasamuros UHV de fibra-óptica con fibra
UHV couplerAcoplamiento para ultra alto vacío
High vacuum couplerAcoplamiento para alto vacío
Fibre optic feedthroughsPasamuros de fibras ópticas
AccessoriesAccesorios
Adaptors and special hardwareAdaptadores y hardware especial
ISOISO
KFKF
CFCF
Flanges and hardwareBridas y elementos de conexión
UHV angle valvesVálvulas de ángulo, UHV
Angle valvesVálvulas de ángulo
Transfer valvesVálvulas de transferencia
Gate valvesVálvulas de guillotina
ValvesVálvulas
Special purposesFunciones especiales
Special materialsMateriales especiales
For lasersPara láser
Fused silicaSílice fusionado
SapphireZafiro
StandardEstándar
ViewportsMirillas
Pre-fabricated cablesCables prefabricados
AccessoriesAccesorios
Insulated wiresCables aislados
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Medium currentCorriente medio
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