@import((rwml-menu))
ES
EN
ES
EN

ES

EN

ES

EN

Movimiento y calefacción en alto vacío y UHV

EPS- Preparation stage

EPS - Plataforma de preparación

Deposition stage parallel to flange
Cost-effective in-line preparation stages for 2" & 4" substrate preparation offering high uniformity heating to 800° C with substrate rotation, height adjustment and shutter options.
The EPS series of in-line preparation stages support the substrate parallel to the mounting flange. The stationary EPS heating module provides durable and uniform heating of 2" or 4" substrates to 800° C with Molybdenum heat shields provided to minimise heat loss. A Type K thermocouple is provided as standard.
Manual or motorised substrate rotation to 60rpm is provided by the magenetically-coupled MagiDrive rotary drives. Eliminating unnecessary bellows and dynamic seals from the EPS ensures true UHV performance and increases reliability.
In addition to substrate rotation, the 50mm height adjustment option allows the substrate position to be optimised via manual or motorised actuation. The EPS series of preparation stages provide cost-effective and durable sample preparation capability. For higher temperature heating, DC/RF biasing or additional capabilities see the EC-I series.
Specifications and models are available from the EPS page on the UHV Design web-site.
Plataformas de preparacion en linea muy rentables para preparación de sustratos de 2 y 4 pulgadas ofreciendo calentamiento hasta 800º C con rotación de sustrato, ajuste de altura y obturadores.
La serie de plataformas EPS de preparación en línea sostiene el substrato paralelo a la brida de montaje. El módulo de calentamiento estacionaria de EPS proporciona durabilidad y calentamiento uniforme de sustratos de 2 & 4 pulgadas hasta 800ºC con escudos de calor de molibdeno minimizando la perdida de calor. Un termopar de Tipo-K se suministra como estándar.
Rotación de substrato manual o motorizada hasta 60rpm. Eliminando fuelles y juntas dinámicas innecesarias en el EPS asegurando un verdadero rendimiento para condiciones de ultra alto vacío y aumentando fiabilidad.
Ademas de la rotación del substrato, la opción de ajuste de altura de 50 mm permite que la posición del sustrato sea optima de forma manual o motorizada. Las plataformas de preparacion de EPS proporciona manera muy rentable y duradera para la preparación de muestras. Para temperaturas mayores, polarización de tensión DC/RF u otras opciones consultar la serie EC-I
Hay disponibles especificaciones y modelos en la pagina EPS en el sitio web de UHV Design
Features
  • 2" or 4" substrates
  • Substrate heating to 800° C
  • Substrate rotation to 60rpm
  • 50mm height adjustment
  • Manual and motorised actuation
Características
  • Substratos de 2 o 4 pulgadas
  • Calentamiento de sustrato hasta 800º C
  • Rotación de sustratos hasta 60 rpm
  • Ajuste de altura de 50 mm
  • Acción manual o motorizada
Deposition stage parallel to flange
SearchBuscar
Exhaust gas abatementExhaust gas abatement
KS-7OKS-7O
PS-7PS-7
Gas sensorsSensores de gas
Abatement with CLEANSORB dry-bed absorbersReducción con absorbentes CLEANSORB
Privacy policyPolitica de privacidad
Vacuum technologyTecnología de vacío
Contact usConsulta
Surface scienceCiencia de superficies
Vacuum deposition - productionDeposición al vacío - producción
Vacuum deposition - R & DDeposición al vacío - I + D
DownloadsDescargas
20152015
20142014
20132013
20122012
NewsNoticias
Dangerous gasesGases peligrosos
Vacuum flangesBridas de vacío
Gas throughput and pumping speedCaudal de gas y velocidad de bombeo
Definition, units and levelsDefinición, unidades y niveles
Technical notesNotas técnicas
SynchrotronSincrotrón
ApplicationsAplicaciones
SDMSDM
XP-329IIIRXP-329IIIR
XP-302MXP-302M
XP-31XXXP-31XX
XP-703DXP-703D
XP-702XP-702
XPS-7XPS-7
XX-2200XX-2200
Portable detectorsDetectores portátiles
SH-WADSH-WAD
TX-WADTX-WAD
KD-12KD-12
Gas detectorsDetectores de gases
Cryogenic - On-Board ISCriogénica - On-Board IS
Cryogenic - On-Board WaterpumpsCriogénica - On-Board Waterpumps
Cryogenic - On-BoardCriogénica - On-Board
Cryogenic - Cryo-TorrCriogénica - Cryo-Torr
Radio FrequencyRF
Low / mid frequencyCA
DCCC
Power suppliesFuentes de alimentación
Materials guidesGuías de materiales
Deposition materialsMateriales de deposición
Organic materialsMateriales orgánicos
Themal boats Barcas termales
IonsIones
Effusion cellsCélulas de efusión
SputteringPulverización catódica
NanoparticlesNanopartículas
Themal gas crackersCrackers de gas termales
E-beam evaporatorsEvaporadores de haz de electrones
SourcesFuentes de deposición
HEX seriesSerie HEX
NANOSYS seriesSerie NANOSYS
QUBE seriesSerie QUBE
QPREP seriesSerie QPREP
M seriesSerie M
SystemsSistemas
Vacuum deposition - PVDDeposición al vacío - PVD
Quartz crystal sensorsSensores de crystal de cuarzo
MonitorsMonitores
ControllersControladores
Thin film monitors and controllersControladores y monitores de deposición
ControllersControladores
Wide rangeAmplio rango
High precisionAlta precisión
Vacuum gaugesMedidores de vacío
Vacuum pumpsBombas de vacío
Deposition stagesPlataformas para la deposición
Manipulators for surface scienceManipuladores para la ciencia de superficies
TetrAxe - XYZTTetrAxe - XYZT
XYZ MultiStageMultiStage XYZ
XY stagesPlataformas XY
Y - shiftsDesplazamiento Y
Simple manipulatorsManipuladores sencillos
Heater modulesMódulos calefactores
Radial telescopic transfer armRadial telescopic transfer arm
Sample transferTransferencia de muestra
Magnetically coupledAcoplado magnéticamente
Push-pull devicesAparatos push-pull
Viewport shuttersObturadores para mirillas
Source shuttersObturadores rotatorias
ShuttersObturadores
LSM & HLSMLSM y HLSM
Linear movement and alignmentMovimiento lineal y alineación
CLEANSORB® stand-alone columnsSerie autónoma CLEANSORB®
Exhaust gas abatementReducción de gases de escape
Rotary motionMovimiento rotatorio
Movement and heatingMovimiento y calefacción
125μm UHV fibre feedthroughsPasamuros UHV de fibra-óptica con fibra de 125 µm
UHV feedthrough with attached in-vacuum fibrePasamuros UHV de fibra-óptica con fibra
UHV couplerAcoplamiento para ultra alto vacío
High vacuum couplerAcoplamiento para alto vacío
Fibre optic feedthroughsPasamuros de fibras ópticas
AccessoriesAccesorios
Adaptors and special hardwareAdaptadores y hardware especial
ISOISO
KFKF
CFCF
Flanges and hardwareBridas y elementos de conexión
UHV angle valvesVálvulas de ángulo, UHV
Angle valvesVálvulas de ángulo
Transfer valvesVálvulas de transferencia
Gate valvesVálvulas de guillotina
ValvesVálvulas
Special purposesFunciones especiales
Special materialsMateriales especiales
For lasersPara láser
Fused silicaSílice fusionado
SapphireZafiro
StandardEstándar
ViewportsMirillas
Pre-fabricated cablesCables prefabricados
AccessoriesAccesorios
Insulated wiresCables aislados
Cables and connectorsCables y conectores
Power GlovePower Glove
Multiway MSMS - multiway
High currentCorriente alta
Medium currentCorriente medio
Medium voltageVoltaje medio
Low voltageBajo voltaje
PowerPotencia
TriaxialTriaxial
Type NTipo N
MHV/SHVMHV/SHV
SMBSMB
SMASMA
BNCBNC
CoaxialCoaxial
HomeInicio
ProductsProductos
Vacuum componentsComponentes de vacío
Electrical feedthroughsPasamuros eléctricos
Sub-DSub-D
StandardEstándar
High densityAlta densidad
CombinationCombinacion
ConnectorsConectores
Crimp pinsPines crimp
Ready made cablesCables pre-fabricados
Circular Minature (CM)Circular Miniature (CM)
Dual-In-Line (DIL)Dual-In-Line (DIL)
ThermocouplesTermopares