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Deposición en vacío

E-beam evaporators

Evaporadores de haz de electrones

Evaporadores haz de electrones
Electron beam evaporation is employed to provide a vapour stream from materials commonly difficult to evaporate with standard thermal techniques. An energetic electron beam is targeted onto the source material which has the effect of increasing the temperature. There is no intrinsic limit to the temperature which can be attained using this method, in contrast to conventional radiative or indirect resistive heating processes.
Visit the Mantis Deposition site for more detailed information.
La evaporación por haz de electrones se emplea para aportar una corriente de vapor a partir de materiales cuya evaporación a través de procesos comunes térmicos no se da con facilidad. Un haz energético electrónico es apuntado hacia el material que será evaporado, con su consiguiente aumento de temperatura. No hay límite intrínseco de la temperatura al que pueda llegarse mediante esta técnica, al contrario a técnicas más comunes de incremento térmico.
Visita el sitio web de Mantis Deposition para obtener información más detallada.
IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
Electron beam evaporation is employed to provide a vapour stream from materials commonly difficult to evaporate with standard thermal techniques. An energetic electron beam is targeted onto the source material which has the effect of increasing the temperature. There is no intrinsic limit to the temperature which can be attained using this method, in contrast to conventional radiative or indirect resistive heating processes.
Mini electron beam evaporators are employed to give maximum control of the evaporation rate at low fluxes and, importantly, to minimise contamination of the vapour stream for sensitive application areas such as surface science or thin-film doping. The construction of e-beam evaporators should therefore be aimed at maximising the evaporation control and minimising contamination.
La evaporación por haz de electrones se emplea para aportar una corriente de vapor a partir de materiales cuya evaporación a través de procesos comunes térmicos no se da con facilidad. Un haz energético electrónico es apuntado hacia el material que será evaporado, con su consiguiente aumento de temperatura. No hay límite intrínseco de la temperatura al que pueda llegarse mediante esta técnica, al contrario a técnicas más comunes de incremento térmico.
Evaporadores de haz de electrones mini se emplean para aportar el máximo control posible de la evaporación producida, a bajos flujos, y además, hay que destacar que minimizan la contaminación de la corriente de vapor en cuanto a varias aplicaciones científicas, como ciencia de superficies o adulteramiento de películas finas. La construcción de estos evaporadores, por lo tanto, debe encaminarse hacia la maximización del control de evaporación y la minimización de la contaminación.
Applications
- Surface science
- Lift-off processes
- Contact metallisation
- MBE doping applications
Aplicaciones
- Ciencia de superficies
- Procesos lift-off
- Metalización de contacto
- Aplicaciones de adulteramiento MBE
Evaporadores haz de electrones
Features
Características
Features
Características
The Mantis EV-Series mini e-beam evaporators are constructed from high-quality, strictly UHV-compatible materials and are fully bakeable to 250° C. The mounting hearths for the source materials and the surrounding evaporation head are highly efficient cooled, ensuring a rapid heat transfer to the cooling water. This allows all but the emission filament and the source material to remain at near ambient temperature, effectively eliminating the structural outgassing which often presents a problem with traditional electron beam evaporators, effusion cells and thermal evaporation boats.
All of the M-EV and QUAD-EV models have integrated flux monitoring plates. These provide real-time feedback of the deposition rate and also can be used in a closed loop control for absolute rate stability and control. The flux monitoring plates are located at the top of the source and below the shutter and can provide an accurate reading of the evaporation rate even with the shutter closed.
Mantis QUAD-EV evaporators use independent filaments, flux-monitoring plates and high-voltage connections to allow each material to be evaporated independently of the other three. In the QUAD-EV-C source this is employed to allow independent co-evaporation of up to four materials. Since each material uses and independent high-voltage connection, the evaporator will still function if a short-circuit occurs. The power supplies are of a rugged construction, enabling seamless operation without shut-down or malfunction during discharges between the filament and source material (as can happen during initial operation after pump-down).
All evaporators can be equipped with either rods or crucibles interchangeably. The choice depends on the evaporation rate required, the material capacity required and the properties of the source material. Please contact us for recommendations.
All e-beam models utilize a user servicable filament that can be replaced quickly. This minimises time needed in the case when the filament is damaged.
Los evaporadores mini e-beam de la serie EV de Mantis se componen de materiales de alta calidad, compatibles con UHV y con tolerancia termal hasta los 250º C. Los alrededores del montaje de los materiales son enfriados de forma muy eficiente, asegurando una transferencia rápida del calor al agua. Esto permite que, salvo el filamento de emisión y el material de evaporación, todo permanezca casi a la temperatura ambiente, eliminando básicamente la desgasificación estructural, que suele ser un problema con evaporadores tradicionales, células de efusión y barcos de evaporación termal.
Todos los modelos M-EV y QUAD-EV tienen placas monitoras de flujo ya integradas. Aportan información en tiempo real de la tasa de deposición, y además pueden usarse en un control de bucle cerrado para su control y estabilidad absoluta. Las placas monitoras de flujo se localizan en la parte superior del material, y en la parte inferior un obturador, y aunque éste esté cerrado pueden aportar información precisa de la tasa de evaporación.
Evaporadores Mantis QUAD-EV usan filamentos independientes, placas monitoras de flujo y conexiones de alto voltaje para permitir la evaporación independiente de cada material. En la fuente QUAD-EV-C esto se emplea para permitir la co-evaporación independiente de hasta cuatro materiales. Debido a que cada material usa una conexión de alto-voltaje independiente, aunque se produzca un corto-circuito, el evaporador seguirá funcionando. Las fuentes de energía son de construcción fuerte, lo cual permite operaciones sin interrupciones sin que haya funcionamiento defectuoso durante las descargas entre el filamento y el material a evaporar (puede pasar durante la operación inicial tras el pump-down).
Todas los evaporadores se pueden equipar con varillas o crisoles, de forma intercambiable. La elección depende de la tasa de evaporación requerida, la capacidad del material requerida y las propiedades del material a evaporar. Contáctenos para dudas o recomendaciones.
Todos los modelos e-beam utilizan un filamento de reparación fácil que puede reemplazarse rápidamente. Esto minimiza el tiempo de daño del filamento.
Options
Opciones
Options
Opciones
Power Supplies
Four models of power supply are available.
A single channel 250 W supply suitable for use with one M-EV source.
A single channel 250 W supply which can be switched between four outputs. This can be used with four M-EV sources in sequential evaporation mode.
A four channel 250 W supply for use with the QUAD-EV-C source of four M-EV sources in co-evaporation mode. This supply includes hardware flux and power control.
A four channel 500 W supply for use with the QUAD-EV-C and QUAD-EV-HP sources or four M-EV sources in co-evaporation mode. This supply includes hardware flux and power control.
Automation Software
For full control and data-logging of all parameters, plus recipe-driven deposition sequences. The key features include Data Charting and the ability to synchronise deposition sequences from more than instrument (i.e. in effect it is possible to have a 8-pocket evaporation program).
Manual or Motor-Driven Shutters
Shaped shutter blades are available for the QUAD-EV-C and QUAD-EV-HP sources to allow up to 6 combinations of open/shut pockets to be achieved.
Crucible Liners
Pockets can be equipped with crucibles or rods. An extensive range of crucible options are available. All crucibles can accept ceramic liners which are recommended for use with a number of materials. For material compatibility please contact us.
Fuentes de potencia
Existen cuatro modelos de fuentes de potencia.
Un canal simple 250 W adecuado para el uso con una fuente M-EV.
Un canal simple 250 W que puede intercambiarse entre cuatro salidas de potencia. Se puede usar con cuatro fuentes M-EV en modo de evaporación secuencial. Una fuente de cuatro canales 250 W para uso con la fuente QUAD-EV-C, fuente de cuatro fuentes M-EV en modo de co-evaporación. Esta fuente incluye control de potencia, y hardware de flujo. Una fuente de cuatro canales 500 W para uso con fuentes QUAD-EV-C y QUAD-EV-HP o cuatro fuentes M-EV en modo de co-evaporación. Incluye control de potencia o hardware de flujo.
Software de automatización
Se emplea para control absoluto y registro de datos de todos los parámetros, además de secuencias dirgidas por recetas, de deposición. Las características clave incluyen Data Charting, y la posibilidad de sincronizar secuencias de deposición para más de un instrumento (i.e es posible tener un programa de evaporación de 8 compartimentos).
Obturadores manuales o por motor
Shaped shutter blades are available for the QUAD-EV-C and QUAD-EV-HP sources to allow up to 6 combinations of open/shut pockets to be achieved.
Revestidores de crisoles
Los compartimentos se pueden equipar con crisoles o varillas. Existe una amplia gama de crisoles que se pueden usar. Todos los crisoles pueden aceptar revestimientos de cerámica cuyo uso se recomienda para una gran variedad de materiales. Para compatibilidad de materiales, contáctenos.
Specifications
Especificaciones
Specifications
Especificaciones
Model M-EV QUAD-EV-C QUAD-EV-HP
Max. Power 0 - 250 W 0 - 250 W 0 - 500 W
Pockets 1 4 4
Flux Monitoring Standard Standard Standard
In-vacuum Diameter 32 mm 34 mm 57 mm
Mounting Flange 40 CF 40 CF 63 CF
Standard In-vacuum Length 200 mm 200 mm 200 mm
Minimum Cooling Water (0.5 l/min) Water (0.5 l/min) Water (0.5 l/min)
Co-evaporation No Yes Yes
Available Crucible Sizes 1000, 390, 210 mm3 390, 210 mm3 1000, 390, 210 mm3
Modelo M-EV QUAD-EV-C QUAD-EV-HP
Potencia máxima 0 - 250 W 0 - 250 W 0 - 500 W
Compartimentos 1 4 4
Monitorización de flujo Estándar Estándar Estándar
Diámetro en vacío 32 mm 34 mm 57 mm
Brida de montaje 40 CF 40 CF 63 CF
Longitud estándar en vacío 200 mm 200 mm 200 mm
Enfriamiento mínimo Agua (0,5 l/min) Agua (0,5 l/min) Agua (0,5 l/min)
Co-evaporación No
Tamaños disponibles de crisoles 1000, 390, 210 mm3 390, 210 mm3 1000, 390, 210 mm3
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