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Deposición en vacío

DC power systems

Fuentes de corriente continua

Pulverización con una fuente de alimentación básica DC para alimentar un magnetrón, es la más simple y más barata de las técnicas de pulverización catódica. En comparación con los otros métodos, da la velocidad de pulverización catódica más alta y la calidad de la película es satisfactorio. Sin embargo, sólo se puede utilizar con blancos metálicos.
Pulverización catódica CC pulsada, utilizando por ejemplo el Pinnacle® Plus+ para alimentar un magnetrón, permite una mejor calidad de la película, en comparación con pulverización catódica CC. Esto es porque la adición de pulsos de baja frecuencia hace que los electrones tengan más energía, creando un efecto de "hammering- down", que mejora la planeidad de la película, la densidad de empaquetamiento, la transmisión y reduce la aparición de agujeros de alfiler.
Las aplicaciones típicas para pulverización catódica CC incluyen:
- Semiconductor (cobre, aluminio, tántalo, titanio y materiales exóticos más recientes)
- Display de pantalla plana (transistor de película fina, filtro de color, los LED orgánicos)
- El almacenamiento de datos (almacenamiento óptico, almacenamiento magnético, y combinaciones de almacenamiento magneto-óptico)
- Célula fotovoltaica solar (óxidos conductores transparentes y deposición de Si)
- Vidrio arquitectónico
- Aplicaciones avanzadas de productos (películas delgadas para la óptica, recubrimiento de herramientas, plásticos, etc)
Advanced Energy puede ofrecer una gama completa de fuentes de alimentación de corriente continua desde 500 W para aplicaciones de I + D, hasta las unidades de 200 kW para revestimiento de vacío industrial. Haga clic en los enlaces para obtener más información.
Plataforma de producto Descripción Rango
Pinnacle® Fuentes de alimentación refrigerados por aire 6 a 200 kW
Pinnacle® 3000 Fuentes de alimentación refrigerados por aire 3 kW
Pinnacle® Diamond™ Fuentes de alimentación refrigerados por agua 8 a 15 kW
Pinnacle® Plus+ Fuente de alimentación CC, pulsada 5 to 60 kW
MDX Serie 500W Fuentes de alimentación refrigerados por aire 0,5 kW
MDX Serie 1 kW y 1,5 kW Fuentes de alimentación refrigerados por aire 1,0 a 1,5 kW
Ascent® AMS Fuentes de alimentación refrigerados por agua 30 a 60 kW
Solvix® CC y CC-pulsada Fuentes de alimentación 3 a 40 kW
Straight DC sputtering, using a DC power supply to power a magnetron, is the simplest and cheapest of the sputtering techniques. Compared to the other methods, it gives the highest sputtering rate and reasonable film quality. However, it can only be used with conducting targets.
Pulsed DC, using for example the Pinnacle® Plus+ to power a magnetron, enables better film quality when compared to straight DC. This is because the addition of low-frequency pulsing makes for more energised electrons, creating a “hammering- down” effect which improves film flatness, packing density, transmission, and reduces the occurrence of pinholes.
Typical applications for DC sputtering include:
- Semiconductor (copper, aluminium, tantalum, titanium, and newer exotic materials)
- Flat panel display (thin-film transistor, color filter, organic LEDs)
- Data storage (optical storage, magnetic storage, and combinations of magneto-optical storage)
- Solar photovoltaic cell (transparent conductive oxides and Si deposition)
- Architectural glass
- Advanced product applications (thin films for optics, tool coating, plastics, etc.)
Advanced Energy can offer a complete range of DC power supplies from 500 W supplies for R&D applications, to 200 kW units for industrial vacuum coating. Click on the links for more information.
Product platform Description Range / size
Pinnacle® Air-cooled power conversion and control systems 6 to 200 kW
Pinnacle® 3000 Air-cooled power conversion and control systems 3 kW
Pinnacle® Diamond™ Water-cooled power conversion and control systems 8 to 15 kW
Pinnacle® Plus+ Pinnacle with internal pulsing 5 to 60 kW
MDX Series 500W Air-cooled power conversion and control systems 0.5 kW
MDX Series 1 kW and 1.5 kW Air-cooled power conversion and control systems 1.0 to 1.5 kW
Ascent® AMS Water-cooled power conversion and control systems 30 to 60 kW
Solvix® DC and Pulsed-DC Power conversion and control systems 3 to 40 kW
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