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CS Clean Systems

Reducción de gases de escape

Exhaust gas abatement

IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
Your reliable partner for exhaust gas abatement. As an internationally operating company with a global network of service centres, CS CLEAN SOLUTIONS AG have been serving customers in the semiconductor and related high tech industries for over 25 years.
Based on proprietary dry bed absorption technology, their products have earned an unparalleled track record for safety, process reliability and environmentally-sustainable manufacturing.
Whether your application relates to semiconductors, photovoltaics, pharmaceuticals or chemicals, if it requires removal of downstream reactive gases please contact us and discover the advantages of CS CLEAN SOLUTIONS unique technology.
Su socio de confianza para la reducción de los gases de escape. CS CLEAN SOLUTIONS AG es una empresa internacional con una red mundial de centros desde los que lleva más de 25 años ofreciendo servicios a sus clientes en los campos de los semiconductores y otros sectores relacionados con la alta tecnología.
Gracias a su tecnología patentada de absorción en lecho seco, sus productos cuentan con un inigualable historial de seguridad, fiabilidad en los procesos y fabricación sostenible desde el punto de vista medioambiental.
Tanto si su aplicación está relacionada con los semiconductores como con la industria fotovoltaica, farmacéutica o química, si precisa de una eliminación de los gases reactivos “aguas abajo”, póngase en contacto con nosotros para descubrir las ventajas de la exclusiva tecnología de CS CLEAN SOLUTIONS.
CS Clean Systems - Product Overview
CS CLEAN SOLUTIONS uses advanced chemisorber technology to design waste gas abatement systems which are unmatched in their scrubbing efficiency, yet absolutely simple to operate.
CLEANSORB® dry absorber systems consume neither electricity, water, nor fuel. Moreover, there is no contamination of precious water resources due to discharge of contaminated waste water - a major benefit in terms of eco balance.
One column of CLEANSORB® granulate typically binds several thousand liters of hazardous gas into safe, solid by-products. Used CLEANSORB® columns are not discarded, but refilled with fresh absorbent with minimal generation of waste material.
CLEANSORB® granulate converts hazardous gases into stable inorganic salts at ambient temperature. It is the most elegant and environmentally friendly purification technology of exhaust gas abatement. A wide range of CLEANSORB® model sizes are available to meet the needs of all our customers, from small-scale university researchers to round-the-clock wafer fabrication.
CS CLEAN SYSTEMS has over 25 years of experience in dry bed chemisorption technology and offers optimised solutions for all process applications.
Our solutions for exhaust gas abatement:
  • CLEANSORB® dry bed removal of process waste gas.
  • CLEAN-PROTECT safeguard against emergency gas release.
  • CLEANVENT mini cartridge for gas cabinet vent lines.
  • Plasma Conversion System for removal of perfluorinated compounds (PFCs) such as CF4, CHF3, SF6, NF3, etc.
CS CLEAN SOLUTIONS utiliza tecnología de quimisorbentes avanzada para diseñar sistemas de reducción de gases de desecho inigualables en su eficacia de depuración, aunque su funcionamiento es realmente simple.
Los sistemas absorbentes secos CLEANSORB® no consumen electricidad, agua ni combustible. Además, no se contaminan los valiosos recursos hídricos por descarga de aguas residuales contaminadas; este es un beneficio importante en términos de equilibrio ecológico.
Una columna de granulado CLEANSORB® generalmente combina varios miles de litros de gas peligroso arrojando derivados sólidos y seguros. Las columnas usadas de CLEANSORB® no se desechan sino que se vuelven a llenar con absorbente nuevo, generando un mínimo de material de desecho.
El granulado CLEANSORB® convierte los gases peligrosos en sales inorgánicas estables a temperatura ambiente. Es la tecnología de purificación más elegante y respetuosa con el medio ambiente para la reducción de gases de escape. Hay una amplia gama de tamaños de modelos CLEANSORB® para satisfacer las necesidades de todos nuestros clientes, desde los investigadores universitarios de pequeña escala hasta la fabricación ininterrumpida de obleas.
CS CLEAN SOLUTIONS cuenta con más de 25 años de experiencia en la tecnología de quimisorción en lecho seco y ofrece soluciones optimizadas para todas las aplicaciones de procesos.
Nuestras soluciones para la reducción de gas de escape son:

  • CLEANSORB®: eliminación por lecho seco de gas residual de proceso.
  • CLEAN-PROTECT: protección frente a casos de emergencia por fuga de gas.
  • CLEANVENT: minicartucho para tuberías de ventilación de los módulos de gas.
  • Sistema conversor de plasma para la eliminación de compuestos perfluorados (PFC), como F4, CHF3, SF6, NF3, etc.
CLEANSORB
CLEANSORB - Dry bed abatement of process waste gas
CLEANSORB - Extracción por lecho seco de gas residual de proceso
CLEANSORB - Serie autónoma
SERIE AUTÓNOMA CLEANSORB®
Columna autónoma especialmente diseñada para pequeñas aplicaciones de I+D.

CLEANSORB - Serie LABLINE
CLEANSORB® LABLINE
Absorbente en lecho seco CLEANSORB versión mini en un módulo compacto. La unidad LABLINE de funcionamiento pasivo está permanentemente encendida y lista y no es necesario ponerla en marcha antes de realizar cada experimento. Esto la hace perfectamente adecuada para trabajos esporádicos de I+D. Suelen tener largas vidas útiles de absorción, a menudo de años.

CLEANSORB - Serie SC
CLEANSORB® FABLINE
Modelo estándar para extracción de gas residual en escala piloto y de producción. La operación es simple y apenas exige formación por parte del operario. Requisitos mínimos relativos a las instalaciones. Prácticamente sin mantenimiento.

CLEANSORB_Serie PRIMELINE
CLEANSORB® PRIMELINE
Modelo con funciones de supervisión de seguridad especial y para aplicaciones MOCVD permitiendo el procesamiento sin interrupciones.
CLEANSORB Stand-alone series
CLEANSORB® STAND ALONE
For small-scale research work, stand-alone absorber columns can be used to remove remaining gas concentrations downstream of the experimental chamber. Several safety components are available as accessories, including an air-extractable housing cabinet as well as options for pressure monitoring and downstream gas detection.

CLEANSORB - LABLINE series
CLEANSORB® LABLINE
The CLEANSORB LABLINE features a small absorber column housed in a compact, air-extracted cabinet. The ability to passively chemisorb hazardous gases at ambient temperature is a particular advantage for sporadic laboratory work since the LABLINE is permanently on ready and does not have to be heated up or otherwise activated each time a new experiment is to be run.

CLEANSORB - SC Series
CLEANSORB® FABLINE
FABLINE is the standard CLEANSORB model for waste gas removal on factory-scale applications. Available in three column sizes, the system is readily adaptable to the requirements of both pilot line and full-scale manufacturing. The FABLINE is constructed from corrosion-resistant 316L stainless steel.

CLEANSORB - PRIMELINE Series
CLEANSORB® PRIMELINE
The PRIMELINE series represents the fully-featured version of the CLEANSORB family of dry bed exhaust gas abatement systems. The system has been especially engineered to handle the gas flows and related operating conditions of safety-critical process applications – notably those of Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD).
CLEAN-PROTECT
CLEAN-PROTECT - Safeguard against emergency gas release
CLEAN-PROTECT - Protección frente a casos de emergencia por fuga de gas
Clean Protect system from CS Clean SOlutions
CLEAN-PROTECT se ha diseñado para absorber gases tóxicos o peligrosos en los casos de emergencia por fuga de gas. Esta instalación de seguridad protege contra los escapes no controlados de gases tóxicos, corrosivos o autoinflamables de uno o varios módulos de suministro de gas, protegiendo así el entorno de trabajo y los alrededores de la fábrica.

En el núcleo del sistema CLEAN-PROTECT se encuentra el material quimisorbente de lecho seco CLEANSORB®. En el sistema CLEAN-PROTECT, los gases de escape sufren una reacción química irreversible (oxidación o neutralización) y se convierten de manera segura en subproductos sólidos. El sistema se instala en línea con los conductos de extracción de aire “aguas abajo” y no precisa de energía ni de otras instalaciones para funcionar, por lo que está permanentemente en estado de espera.

El sistema CLEAN-PROTECT se fabrica con acero inoxidable de grado 316L de gran calidad. Si no se produce ninguna fuga de gas, el lecho del absorbedor debe cambiarse cada cinco años.
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The CLEAN-PROTECT is designed to absorb toxic or otherwise hazardous gases during an emergency gas release incident. This safety installation guards against uncontrolled escape of toxic, corrosive, or pyrophoric gases from one or several gas supply cabinets, thus protecting the workplace and the factory neighborhood.

At the heart of the CLEAN-PROTECT system is the dry chemisorbent material, CLEANSORB®. Escaping gases undergo an irreversible chemical reaction (oxidation or neutralization) within the CLEAN-PROTECT system, where they are safely converted into solid by-products. The system is installed inline with downstream air extract ducting and does not require power or other facilities to operate, meaning that it is permanently on stand-by.

The CLEAN-PROTECT system is manufactured from high-quality 316L stainless steel. In the absence of a gas release incident the change-out frequency of the absorber bed is five years.
CLEANVENT
CLEANVENT- Mini cartridge for gas cabinet vent lines
CLEANVENT - Mini cartucho para líneas de ventilación del gabinete de gas
CleanVent cartridge from SC Clean Solutions
Antes de colocar una nueva botella de gas en línea dentro de un módulo de suministro de gas, primero debe extraerse el gas de proceso que queda en la botella anterior, tanto por motivos de seguridad como para garantizar la integridad del nuevo suministro de gas. Es probable que el volumen muerto del gas residual sea un gas tóxico, autoinflamable o corrosivo altamente concentrado, lo que representa un gran riesgo para la seguridad.

Durante más de 20 años, el cartucho CLEANVENT ha demostrado ser una solución segura para la eliminación de gases de purga peligrosos. Este cartucho se instala dentro del módulo de gas en el lado de succión de la bomba de vacío tipo Venturi o en un bloque de válvulas y permite depurar los gases residuales “en el origen”.

Los gases de purga se evacuan a través del lecho absorbente del cartucho y se depuran de concentraciones de gas peligrosas mediante conversiones químicas irreversibles en sólidos. Los cartuchos rellenables CLEANVENT están disponibles para una amplia gama de gases de uso especial y cuentan con la asistencia de la red mundial de socios de servicios de CS CLEAN SYSTEMS.
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Before a new gas cylinder is put on-line within a gas supply cabinet, process gas remaining from the previous cylinder must first be removed – both for reasons of safety and to ensure integrity of the fresh gas supply. The dead volume of residual gas is likely to be highly concentrated, toxic, pyrophoric, or corrosive, thus posing a considerable safety hazard.

For over 20 years the CLEANVENT cartridge has proven itself a safe solution for the removal of hazardous purge gases. Installed within the gas cabinet on the suction side of the venturi vacuum generator, or in a valve manifold box, the CLEANVENT cartridge allows residual gases to be scrubbed "at-source“.

Purge gases are evacuated through the absorber bed of the cartridge and are purified from hazardous gas concentrations by irreversible chemical conversion to solids. Refillable CLEANVENT cartridge types are available for a broad range of specialty gases and are supported by CS CLEAN SYSTEMS worldwide network of service partners.
PIRANHA
PIRANHA - Abatement of global warming PFC gases
PIRANHA - Reducción de gases PFC de calentamiento global
Piranha system from CS Clean Solutions
Abatement of global warming PFC gases
The semiconductor industry has committed itself to further reduce its emissions of perfluorinated compounds (PFCs), which give rise to the "greenhouse effect". Most semiconductor manufacturers have already begun to implement measures to combat PFC emissions, with PFC abatement a key part of an overall reduction strategy.

PFC gases such as CF4, CHF3, SF6 and NF3 are emitted from semiconductor Plasma Etch and Strip processes as well as CVD Chamber Cleans.

The PCS PIRANHA foreline plasma conversion systems are designed to convert the stable PFCs to reactive by-products. The PCS PIRANHA is installed in the vacuum foreline of the etch chamber for maximum efficiency. Small flows of a reaction partner such as oxygen or water are added to prevent re-combination of the dissociated F and C atoms. The reactive by-products are best removed using a CLEANSORB® dry bed chemisorber.
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Depuración de gases PFC responsables del calentamiento global
La industria de los semiconductores se ha comprometido a reducir sus emisiones de compuestos perfluorados (PFC), que dan lugar al “efecto invernadero”. La mayoría de los fabricantes de semiconductores ya han empezado a poner en marcha medidas para combatir las emisiones de PFC, donde la reducción de los PFC es una pieza clave en la estrategia de reducción global.

Los gases PFC, como CF4, CHF3, SF6 y NF3, son emitidos a partir de los procesos de decapado y ataque por plasma, así como de las limpiezas de la cámara de CVD.

Los sistemas conversores de plasma PCS de prevacío PIRANHA están diseñados para convertir los PFC estables en derivados reactivos. El PCS PIRANHA se instala en el prevacío de la cámara de ataque para una eficacia máxima. Se añaden pequeños caudales de otro reactivo, como oxígeno o agua, para prevenir la recombinación de los átomos de F y C disociados. Los derivados reactivos se extraen mejor mediante un quimisorbente en lecho seco CLEANSORB®.
Your reliable partner for exhaust gas abatement. As an internationally operating company with a global network of service centres, CS CLEAN SOLUTIONS AG have been serving customers in the semiconductor and related high tech industries for over 25 years.
Based on proprietary dry bed absorption technology, their products have earned an unparalleled track record for safety, process reliability and environmentally-sustainable manufacturing.
Whether your application relates to semiconductors, photovoltaics, pharmaceuticals or chemicals, if it requires removal of downstream reactive gases please contact us and discover the advantages of CS CLEAN SOLUTIONS unique technology.
Su socio de confianza para la reducción de los gases de escape. CS CLEAN SOLUTIONS AG es una empresa internacional con una red mundial de centros desde los que lleva más de 25 años ofreciendo servicios a sus clientes en los campos de los semiconductores y otros sectores relacionados con la alta tecnología.
Gracias a su tecnología patentada de absorción en lecho seco, sus productos cuentan con un inigualable historial de seguridad, fiabilidad en los procesos y fabricación sostenible desde el punto de vista medioambiental.
Tanto si su aplicación está relacionada con los semiconductores como con la industria fotovoltaica, farmacéutica o química, si precisa de una eliminación de los gases reactivos “aguas abajo”, póngase en contacto con nosotros para descubrir las ventajas de la exclusiva tecnología de CS CLEAN SOLUTIONS.
CS Clean Systems - Product Overview
CS CLEAN SOLUTIONS uses advanced chemisorber technology to design waste gas abatement systems which are unmatched in their scrubbing efficiency, yet absolutely simple to operate.
CLEANSORB® dry absorber systems consume neither electricity, water, nor fuel. Moreover, there is no contamination of precious water resources due to discharge of contaminated waste water - a major benefit in terms of eco balance.
One column of CLEANSORB® granulate typically binds several thousand liters of hazardous gas into safe, solid by-products. Used CLEANSORB® columns are not discarded, but refilled with fresh absorbent with minimal generation of waste material.
CLEANSORB® granulate converts hazardous gases into stable inorganic salts at ambient temperature. It is the most elegant and environmentally friendly purification technology of exhaust gas abatement. A wide range of CLEANSORB® model sizes are available to meet the needs of all our customers, from small-scale university researchers to round-the-clock wafer fabrication.
CS CLEAN SYSTEMS has over 25 years of experience in dry bed chemisorption technology and offers optimised solutions for all process applications.
Our solutions for exhaust gas abatement:
  • CLEANSORB® dry bed removal of process waste gas.
  • CLEAN-PROTECT safeguard against emergency gas release.
  • CLEANVENT mini cartridge for gas cabinet vent lines.
  • Plasma Conversion System for removal of perfluorinated compounds (PFCs) such as CF4, CHF3, SF6, NF3, etc.
CS CLEAN SOLUTIONS utiliza tecnología de quimisorbentes avanzada para diseñar sistemas de reducción de gases de desecho inigualables en su eficacia de depuración, aunque su funcionamiento es realmente simple.
Los sistemas absorbentes secos CLEANSORB® no consumen electricidad, agua ni combustible. Además, no se contaminan los valiosos recursos hídricos por descarga de aguas residuales contaminadas; este es un beneficio importante en términos de equilibrio ecológico.
Una columna de granulado CLEANSORB® generalmente combina varios miles de litros de gas peligroso arrojando derivados sólidos y seguros. Las columnas usadas de CLEANSORB® no se desechan sino que se vuelven a llenar con absorbente nuevo, generando un mínimo de material de desecho.
El granulado CLEANSORB® convierte los gases peligrosos en sales inorgánicas estables a temperatura ambiente. Es la tecnología de purificación más elegante y respetuosa con el medio ambiente para la reducción de gases de escape. Hay una amplia gama de tamaños de modelos CLEANSORB® para satisfacer las necesidades de todos nuestros clientes, desde los investigadores universitarios de pequeña escala hasta la fabricación ininterrumpida de obleas.
CS CLEAN SOLUTIONS cuenta con más de 25 años de experiencia en la tecnología de quimisorción en lecho seco y ofrece soluciones optimizadas para todas las aplicaciones de procesos.
Nuestras soluciones para la reducción de gas de escape son:

  • CLEANSORB®: eliminación por lecho seco de gas residual de proceso.
  • CLEAN-PROTECT: protección frente a casos de emergencia por fuga de gas.
  • CLEANVENT: minicartucho para tuberías de ventilación de los módulos de gas.
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